產品介紹
E-Rack 仓储系统
● 移载SEMI 300/600 FOUP
● 对应最大重量80kg FOUP 移载/储存
● N2 Purge function进行产品湿度管控
● 可搭接高空移载系统，配置 SEMI E84 需求功能
● 对应高空移载系统自动 LUL FOUP
● 对应 AGV进行自动 LUL FOUP
● 产品Q-Time 管控
● 对应最大重量80kg FOUP 移载/储存
● N2 Purge function进行产品湿度管控
● 可搭接高空移载系统，配置 SEMI E84 需求功能
● 对应高空移载系统自动 LUL FOUP
● 对应 AGV进行自动 LUL FOUP
● 产品Q-Time 管控
● 一般
机台尺寸 : W3456 x L5570x H3012mm
机台重量 : 3000 kg
N2 Purge Stage : 2组
Capacity：10格储位(含N2 储位)
● 搬运
传动方式 : AC马达
回馈方式 : Sensor
重复精度 : ±0.2 mm
● 品质
ESD：< 25V
無塵等級：符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證：符合SEMI規範
机台尺寸 : W3456 x L5570x H3012mm
机台重量 : 3000 kg
N2 Purge Stage : 2组
Capacity：10格储位(含N2 储位)
● 搬运
传动方式 : AC马达
回馈方式 : Sensor
重复精度 : ±0.2 mm
● 品质
ESD：< 25V
無塵等級：符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證：符合SEMI規範
E-Rack 仓储系统
● 移载SEMI 300/600 FOUP
● 对应最大重量80kg FOUP 移载/储存
● N2 Purge function进行产品湿度管控
● 可搭接高空移载系统，配置 SEMI E84 需求功能
● 对应高空移载系统自动 LUL FOUP
● 对应 AGV进行自动 LUL FOUP
● 产品Q-Time 管控
● 对应最大重量80kg FOUP 移载/储存
● N2 Purge function进行产品湿度管控
● 可搭接高空移载系统，配置 SEMI E84 需求功能
● 对应高空移载系统自动 LUL FOUP
● 对应 AGV进行自动 LUL FOUP
● 产品Q-Time 管控
● 一般
机台尺寸 : W3456 x L5570x H3012mm
机台重量 : 3000 kg
N2 Purge Stage : 2组
Capacity：10格储位(含N2 储位)
● 搬运
传动方式 : AC马达
回馈方式 : Sensor
重复精度 : ±0.2 mm
● 品质
ESD：< 25V
無塵等級：符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證：符合SEMI規範
机台尺寸 : W3456 x L5570x H3012mm
机台重量 : 3000 kg
N2 Purge Stage : 2组
Capacity：10格储位(含N2 储位)
● 搬运
传动方式 : AC马达
回馈方式 : Sensor
重复精度 : ±0.2 mm
● 品质
ESD：< 25V
無塵等級：符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證：符合SEMI規範
關聯產品
Carousel 仓储系统
Tray Stocker 仓储系统
Magazine Stocker 仓储系统
N2 Wafer Stocker 仓储系统
