產品介紹
Magazine Stocker 仓储系统
● 移载与储存MAG
● 同时对应多尺寸 MAG 移载/储存
● 可搭接高空移载系统，配置 SEMI E84 对接功能
● 对应高空移载系统自动FOUP LUL
● 对应 AGV进行自动FOUP LUL
● 产品Q -Time 管控
● 手臂定时/定次水平校正检测功能
● 地震监控，地震强度 ≥ 5级立即停止移载
● 同时对应多尺寸 MAG 移载/储存
● 可搭接高空移载系统，配置 SEMI E84 对接功能
● 对应高空移载系统自动FOUP LUL
● 对应 AGV进行自动FOUP LUL
● 产品Q -Time 管控
● 手臂定时/定次水平校正检测功能
● 地震监控，地震强度 ≥ 5级立即停止移载
● 一般
机台尺寸：(W)2550 x (L)7400 x (H)2510 mm
机台重量：1350 kg
机台負載 ：10 kg
储存能力 ：432 格储位(Reject port 8格储位 )
● 搬运
传动方式：AC马达
回馈方式：Sensor
重复精度：±0.2 mm
定位精度：±1 mm
● 品质
ESD：< 25V
无尘等级：符合FS209 Class 1000 等级
设备结构认证：符合SEMI规范
Magazine Stocker 仓储系统
● 移载与储存MAG
● 同时对应多尺寸 MAG 移载/储存
● 可搭接高空移载系统，配置 SEMI E84 对接功能
● 对应高空移载系统自动FOUP LUL
● 对应 AGV进行自动FOUP LUL
● 产品Q -Time 管控
● 手臂定时/定次水平校正检测功能
● 地震监控，地震强度 ≥ 5级立即停止移载
● 同时对应多尺寸 MAG 移载/储存
● 可搭接高空移载系统，配置 SEMI E84 对接功能
● 对应高空移载系统自动FOUP LUL
● 对应 AGV进行自动FOUP LUL
● 产品Q -Time 管控
● 手臂定时/定次水平校正检测功能
● 地震监控，地震强度 ≥ 5级立即停止移载
● 一般
机台尺寸：(W)2550 x (L)7400 x (H)2510 mm
机台重量：1350 kg
机台負載 ：10 kg
储存能力 ：432 格储位(Reject port 8格储位 )
● 搬运
传动方式：AC马达
回馈方式：Sensor
重复精度：±0.2 mm
定位精度：±1 mm
● 品质
ESD：< 25V
无尘等级：符合FS209 Class 1000 等级
设备结构认证：符合SEMI规范
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