產品介紹
Oven 制程自动化
● 可同时派工多烤盘
● 最多一次可移载12盒Mag./盘
● 最多可3烤盘(共36盒Mag.)进烤炉
● 未满盒MAG并批功能
● Mag.装盘，烤盘LUL烤炉功能
● Oven手动设备可配置自动开关门功能
● 最多一次可移载12盒Mag./盘
● 最多可3烤盘(共36盒Mag.)进烤炉
● 未满盒MAG并批功能
● Mag.装盘，烤盘LUL烤炉功能
● Oven手动设备可配置自动开关门功能
● 一般
机台尺寸 : (W)11680 x (L)4425 x (H)2350 mm
机台重量 : 3880kg
机台负载 : 10 Kg / Mag.
● 搬运
传动方式 : 伺服马达；汽缸
回馈方式 : Encoder ； Sensor
重复精度 : ±0.2 mm
● 品质
ESD : < 25V
无尘等级 : 符合FS209 Class 1000 等级
设备结构认证 : 符合SEMI规范
机台尺寸 : (W)11680 x (L)4425 x (H)2350 mm
机台重量 : 3880kg
机台负载 : 10 Kg / Mag.
● 搬运
传动方式 : 伺服马达；汽缸
回馈方式 : Encoder ； Sensor
重复精度 : ±0.2 mm
● 品质
ESD : < 25V
无尘等级 : 符合FS209 Class 1000 等级
设备结构认证 : 符合SEMI规范
Oven 制程自动化
● 可同时派工多烤盘
● 最多一次可移载12盒Mag./盘
● 最多可3烤盘(共36盒Mag.)进烤炉
● 未满盒MAG并批功能
● Mag.装盘，烤盘LUL烤炉功能
● Oven手动设备可配置自动开关门功能
● 最多一次可移载12盒Mag./盘
● 最多可3烤盘(共36盒Mag.)进烤炉
● 未满盒MAG并批功能
● Mag.装盘，烤盘LUL烤炉功能
● Oven手动设备可配置自动开关门功能
● 一般
机台尺寸 : (W)11680 x (L)4425 x (H)2350 mm
机台重量 : 3880kg
机台负载 : 10 Kg / Mag.
● 搬运
传动方式 : 伺服马达；汽缸
回馈方式 : Encoder ； Sensor
重复精度 : ±0.2 mm
● 品质
ESD : < 25V
无尘等级 : 符合FS209 Class 1000 等级
设备结构认证 : 符合SEMI规范
机台尺寸 : (W)11680 x (L)4425 x (H)2350 mm
机台重量 : 3880kg
机台负载 : 10 Kg / Mag.
● 搬运
传动方式 : 伺服马达；汽缸
回馈方式 : Encoder ； Sensor
重复精度 : ±0.2 mm
● 品质
ESD : < 25V
无尘等级 : 符合FS209 Class 1000 等级
设备结构认证 : 符合SEMI规范
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