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產品介紹
>半导体自动化 >仓储系统
Carousel 仓储系统
●  移载与储存MAG/FOUP/FOSB
●  N2 Purge 进行产品温湿度管控
●  可搭接高空移载系统,配置 SEMI E84 对接功能
●  产品Q -Time 管控
●  循环式储位功能
●  地震监控,地震强度≥5级立即停止移载
● 一般
机台尺寸 :  W1180 x L1000 x H3000 mm 
机台重量 : 550 kg 
机台负载 : 10 Kg

● 搬运
传动方式 :  AC马达
回馈方式 :  Sensor
重复精度 :  ±0.2 mm

● 品质
ESD < 25V
设备结构认证 : 符合SEMI规范

 
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●  移载与储存MAG/FOUP/FOSB
●  N2 Purge 进行产品温湿度管控
●  可搭接高空移载系统,配置 SEMI E84 对接功能
●  产品Q -Time 管控
●  循环式储位功能
●  地震监控,地震强度≥5级立即停止移载
● 一般
机台尺寸 :  W1180 x L1000 x H3000 mm 
机台重量 : 550 kg 
机台负载 : 10 Kg

● 搬运
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