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產品介紹
>半导体自动化 >制程自动化
SMT 制程自动化
● 可串接不同厂区、不同制程之间的上下游需求
● 产品限位功能
● 撞/防拉设计,感应立即停止移载
● Boat LUL / Mag LUL同时作业功能  
● 支持OHS系统LUL功能

 
一般
机台尺寸:(W)1500 x (L)1800 x (H)2670 mm 
机台重量:1000kg
负载:10kg

● 搬运
传动方式 :DC无刷马达、伺服马达
回馈方式:Sensor
重复经度:± 0.2 mm

● 品质
ESD < 25V
无尘等级:符合EF 209 Class 1000 等级
设备结构认证:符合SEMI规范


 
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SMT 制程自动化
● 可串接不同厂区、不同制程之间的上下游需求
● 产品限位功能
● 撞/防拉设计,感应立即停止移载
● Boat LUL / Mag LUL同时作业功能  
● 支持OHS系统LUL功能

 
一般
机台尺寸:(W)1500 x (L)1800 x (H)2670 mm 
机台重量:1000kg
负载:10kg

● 搬运
传动方式 :DC无刷马达、伺服马达
回馈方式:Sensor
重复经度:± 0.2 mm

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