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產品介紹
>半导体自动化 >制程自动化
Plasma 制程自动化
● 可对应单片、单盒,四片清洗盒功能
● Boat自动转换Mag.清洗盒功能
● 最多一次可移载4盒Mag.
● 未满盒Mag.并批功能
● Plasma手动设备可配置自动开关门功能
● 一般
机台尺寸:(W) 880 x (L) 1280 x (H) 1910 mm
机台重量:380kg
机台负载:10 Kg (每次最多移载4盒)

● 搬运
传动方式: 伺服马达
回馈方式: Encoder
重复精度:Base轴输送手臂: ±0.2 mm

● 品质
ESD :  < 25V
无尘等级 :  符合FS209 Class 1000 等级
设备结构认证 : 符合SEMI规范



 
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Plasma 制程自动化
● 可对应单片、单盒,四片清洗盒功能
● Boat自动转换Mag.清洗盒功能
● 最多一次可移载4盒Mag.
● 未满盒Mag.并批功能
● Plasma手动设备可配置自动开关门功能
● 一般
机台尺寸:(W) 880 x (L) 1280 x (H) 1910 mm
机台重量:380kg
机台负载:10 Kg (每次最多移载4盒)

● 搬运
传动方式: 伺服马达
回馈方式: Encoder
重复精度:Base轴输送手臂: ±0.2 mm

● 品质
ESD :  < 25V
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设备结构认证 : 符合SEMI规范



 
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